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簡要描述:射頻探針臺(tái),12英寸全自動(dòng)射頻探針臺(tái)設(shè)計(jì)有五個(gè)單獨(dú)的托盤,可按人體工學(xué)方式手動(dòng)裝載150、200或300毫米的“模型"晶圓。
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12英寸全自動(dòng)射頻探針臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn):
1.專為多種晶圓測試應(yīng)用而設(shè)計(jì)
●模塊量測-DC-IV,DC-CV,Pulse-IV,ESD,1/f。
●射頻、毫米波、射頻頻率可設(shè)置可從26GHz到110GHz或更高。
●晶圓級可靠性-用于精確的壓力和測量條件。
●lin先的測試執(zhí)行軟件套裝的驅(qū)動(dòng)程序。
2.WaferWalletTM操作平臺(tái)
●設(shè)計(jì)有五個(gè)單獨(dú)的托盤,可按人體工學(xué)方式手動(dòng)裝載150、200或300毫米的“模型”晶圓。
●在多個(gè)溫度條件下全自動(dòng)測試可多達(dá)五個(gè)相同的晶圓。
●有在任何溫度下裝載/卸載晶片的*能力。
3.ShielDEnvironment™屏蔽環(huán)境
●專為EMI/RFI/Light-tight屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量測環(huán)境,以得到最佳的1/f超低噪測試結(jié)果。
●支援fA ji超低噪IV量測。
●可編程的顯微鏡滑臺(tái)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化之簡便操作。
●具配置彈性的溫度可量測范圍-60°C至300°C。
4.工效學(xué)設(shè)計(jì)及彈性選配
●從正面輕松放置晶片或單個(gè)DUT。
●內(nèi)建防震系統(tǒng)。
●完整的硬件操控整合,方便更快速安全的量測操作。
●安全測試管理系統(tǒng)(Safety Test Management,STM™)選配具自動(dòng)進(jìn)行露點(diǎn)控制功能。
●預(yù)留制冷機(jī)組空間,節(jié)省空間不占位。
●儀器架選配,可縮短射頻電纜之架設(shè)長度,提供最高的量測機(jī)能。
12英寸全自動(dòng)射頻探針臺(tái)設(shè)備簡介:
TS3500和TS3500-SE在功能上與MPI著名的已建立的TS3000和TS3000-SE 300毫米探針臺(tái)具有相同的功能,通過配置或升級MPI*的WaferWallet™,可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)功能。MPI的解決方案通過提供比其他供應(yīng)商的半自動(dòng)化產(chǎn)品更少的*自動(dòng)化功能,降低了客戶的總體測試成本。
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